Messprinzip - Sensor
Unter HELT-V verstehen wir die klassische Helium Dichtheitsprüfung in der Vakuumkammer. Als Sensor wird ein Massenspektrometer verwendet. Die Heliumatome werden mit Hilfe eines Elektronenstrahls ionisiert. Die nun elektrisch geladenen Teilchen werden in einem Magnetfeld auf eine Kreisbahn gelenkt. Dabei hängt der Radius der Kreisbahn von der Masse der Teilchen ab. Durch den Schlitz in der Blende gelangen nur Teilchen einer bestimmten Masse. Diese erzeugen dann einen elektrischen Strom am Detektor.
Messprinzip – Prüfanlage/-vorrichtung
Vakuum-Prüfkammer und Prüfteil werden evakuiert. Dann wird das Prüfteil mit Helium oder einem He-Gemisch beaufschlagt. Durch das vorher vorhandene Vakuum im Prüfteil wird eine gleichmäßige Verteilung des Prüfgases erreicht. Nach dem Erreichen eines bestimmten Vakuum in der Prüfkammer wird das Massenspektrometer zugeschaltet und die Messung durchgeführt.
Mit einer Schnüffelsonde kann die Leckage evtl. anschließend bei Atmosphäre lokalisiert werden. Da mit der Schnüffelsonde nur gröbere Leckagen detektiert werden können, kann es durchaus vorkommen, dass keine Leckage gefunden wird. Eine Alternative zur Leck Lokalisierung stellt die Nachprüfung im Wasserbad dar.
Prüftechnik Steckbrief HELT-V
Methode
Prüfteil und Prüfkammer werden evakuiert und das Prüfteil mit dem Prüfgas (-gemisch) beaufschlagt. Tritt aufgrund einer Leckage Prüfgas in die Messkammer, so wird dieses nach dem Zuschalten vom Massenspektrometer detektiert.
Prüfmedium
Helium, Helium-Luft-Gemisch, He-Stickstoff-Gemisch
Nachweisgrenze
10-11 mbar·l/s
Erkennbare Leckageraten in Prüfanlagen
Bereich von 10-3 mbar·l/s bis 10-7 mbar·l/s
Charakterisierung
| Werker unabhängig |
+ + +
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| Investitionskosten |
– – –
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Vakuumkammer erforderlich, Pumpleistungen sollten so ausgelegt sein, dass auch Schwankungen bei der Luftfeuchtigkeit ausgeglichen werden können. |
| Prüfteil trocken |
+ + +
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| Betriebs- und Wartungskosten |
– – –
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Regelmäßige Kalibrierung erforderlich, Wartungsaufwand für Vakuumtechnik, Prüfgaskosten |
| Messzeiten |
+
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Messzeit selbst meist eher kurz. Bei großem Kammervolumen lange Pumpzeiten zum Erreichen des Vakuum. |
| Volumenunabhängig |
+
|
Siehe Messzeiten. |
| Einfluss einer Temperaturänderung |
+ + +
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Kein Temperatureinfluss bei normalen Umgebungsbedingungen. |
| Einfluss einer Volumenänderung |
+ + +
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Kein Einfluss einer Volumenänderung. |
| Lokalisierung |
– – –
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Keine Lokalisierung |
| Prüfgas |
– –
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Helium, Helium-Gemisch |
| Grobleckproblematik |
– – –
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Verseuchung der Prüfkammer und Umgebung bei einem Grobleck |
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